電子級氯化氫是指純度高于99.999%的高純度氯化氫氣體。除了對純度要求較高以外，對氯化氫氣體的品質(zhì)要求也非常嚴(yán)格。
    隨著微電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發(fā)展，對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應(yīng)具有99.999%以上的純度，還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機雜質(zhì)的含量越低越好。
    電子級氯化氫主要用于外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕，清除鈉離子。另外高純氯化氫也用于金屬表面化學(xué)處理，激光用混合氣、膠片生產(chǎn)及碳纖維表面處理。過去我國大多從美、日等國進口電子級氯化氫，但近年來，我國電子工業(yè)所需的化學(xué)氣體的研制，在技術(shù)上已有不少突破和發(fā)展。
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